Lo sviluppo di motori planari a levitazione magnetica risale al 1997, quando il laboratorio del Dr. David L. Trumper al MIT dimostrò per la prima volta il movimento simultaneo in entrambe le direzioni X e Y con una corsa di un pollice per un pollice, ottenuto senza alcun cuscinetto meccanico. Basandosi su queste fondamenta, il Dr. Xiaodong Lu, che in seguito sarebbe diventato il fondatore di Planar Motor Inc., ha continuato a far progredire la tecnologia presso l'Università della British Columbia (UBC) dopo aver completato il suo dottorato di ricerca nel laboratorio di Trumper. Anni di ricerca dedicata hanno portato a un importante passo avanti nel 2011 con lo sviluppo di un prototipo di motore planare a corsa lunga che utilizza matrici lineari di bobine sullo statore e matrici di magneti lineari sul motore. Questa innovazione ha dimostrato il potenziale di spostamenti praticamente illimitati e del funzionamento coordinato di più motori, segnando un progresso fondamentale nella tecnologia dei motori planari. Riconoscendo la sua promessa commerciale, l'invenzione è stata concessa in licenza da UBC a diverse società, tra cui Beckhoff Automation, che ha iniziato lo sviluppo nel 2014 di quello che sarebbe poi diventato il sistema XPlanar.