磁気浮上式planar motorの開発は1997年に遡ります。MITのDavid L. Trumper博士の研究室が、機械的なベアリングを使用せずにX方向とY方向の同時運動を1インチ四方の範囲で初めて実現しました。

この基盤の上に、後にPlanar Motor Inc.を創設することになるXiaodong Lu博士は、Trumper博士の研究室で博士号を取得した後、ブリティッシュコロンビア大学（UBC）でこの技術を発展させ続けました。年の研究の結果、2011年に、ステーターにリニアコイルアレイを、ムーバーにリニアマグネットアレイを用いた長ストロークのplanar motorプロトタイプが開発され、無限に近い移動距離と複数のムーバーの協調動作が可能であることが示され、技術における大きな飛躍となりました。